项目背景
高校微纳加工实验室开展二维半导体、微纳器件科研实验，需要高精度光刻设备、适配性科研级光刻材料，市面通用量产设备与耗材精度不足、适配性差，无法满足微纳科研试制需求。
解决方案
我司为实验室提供科研型电子束光刻机设备方案，同时配套电子束专用光刻胶、高纯实验试剂、微纳加工辅助耗材。提供设备安装调试、操作培训、工艺适配指导一站式服务，完全匹配科研实验高精度、多场景、定制化需求。
落地效果
成功搭建标准化微纳科研实验平台，设备与耗材完美适配各类微纳器件试制实验，助力高校完成多项科研项目与课题研究，设备运行稳定、工艺适配性优异。
