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薄膜沉积材料·介质薄膜
薄膜沉积工艺材料

介质薄膜

半导体绝缘与薄膜钝化核心材料,通过 PVD/CVD/ALD 等工艺在晶圆表面制备绝缘、隔离、钝化和应力调控薄膜,是芯片互连、栅介质、层间绝缘与先进封装制程的关键基础材料。

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薄膜沉积材料·金属薄膜
半导体材料

金属薄膜

半导体薄膜沉积核心金属源材,通过 PVD/CVD/ALD 工艺在晶圆表面制备导电、阻挡、互连金属薄层,是芯片布线、接触孔、电极制程的基础材料。

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