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半导体刻蚀工艺材料-金属刻蚀
刻蚀工艺材料

金属刻蚀

半导体金属图形化核心蚀刻耗材,包含干法等离子特种工艺气体、湿法金属蚀刻药液,精准刻蚀铜、铝、钨、钛、钴等金属薄膜,实现高精度布线、接触孔、阻挡层图形转移。

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