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化学机械抛光材料·CMP抛光垫
化学机械抛光材料

CPM抛光垫

半导体化学机械平坦化核心工艺耗材,依托多孔聚氨酯 / 无纺布复合结构承载抛光液、传递机械研磨力,完成晶圆介质、金属、硅基底全局平坦化,是先进制程良率关键耗材。

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抛光液
化学机械抛光材料

抛光液

半导体化学机械抛光核心耗材,依靠纳米磨粒研磨与化学助剂协同作用完成晶圆全局平坦化,是多层金属互连、先进制程良率管控的关键电子化学品,广泛适配晶圆制造、功率器件、先进封装、光电子衬底全工序。

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